Описание:
Система газовой инжекции OmniGIS® производства компании Omniprobe является одной из наиболее совершенных на сегодняшний день системой газовых инжекторов, позволяющей производить выборочное травление материала и осуществлять депозицию проводников и диэлектриков.
Основными преимуществами системы газовой инжекции OmniGIS® являются:
- осуществление контролируемой доставки нескольких металлоорганических соединений и газов-носителей, занимая при этом всего один порт микроскопа и используя один инжектор для всех газов;
- совместимость практически со всеми имеющимися моделями ионно-лучевых и электронно-лучевых растровых микроскопов;
- обладание тремя прекурсорами, двумя штуцерами для подачи инертного газа и единой иглой-зондом;
- наиболее совершенный на сегодняшний день газовый инжектор
Система газовой инжекции OmniGIS® применяется для:
- напыления предохранительного слоя;
- приготовления образцов для TEM;
- модификации интегральных схем;
- электронно-лучевой литографии;
- напыление слоя толщиной в один атом;
- доставка самоорганизующихся монослоев внутрь микроскопа in situ;
- электрическая проверка структур;
- перемещение нанонитей.